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用于半導體芯片上連接線切割的高精度激光修整 microVEGA FC 系統(tǒng)可針對半導體行業(yè)中的不同應(yīng)用執(zhí)行高吞吐量的激光微加工。該系統(tǒng)將高精度工藝與高動態(tài)性能相結(jié)合。因此，其可能的應(yīng)用包括： 數(shù)字邏輯電路的編程， 數(shù)字電位器的修整， 芯片上半導體存儲器的修復， 失效微LED的移除。

用于歐姆接觸形成的高速紫外激光退火 microPRO XS OCF 系統(tǒng)提供了一個多功能平臺，可實現(xiàn)高重復性和高吞吐量的激光退火。該系統(tǒng)將穩(wěn)定的激光光學模塊與3D-Micromac的模塊化處理平臺相結(jié)合，非常適合用于碳化硅（SiC）功率器件的歐姆接觸形成（OCF）。